真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
常見真空泵的種類及原理性能
1、旋轉(zhuǎn)式機械泵
以油封式真空泵為例加以介紹。
構(gòu)造：偏心軸轉(zhuǎn)子,固定翼,油。旋轉(zhuǎn)動力是電機。
原理：轉(zhuǎn)子緊貼泵壁內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。固定翼隨之下移,轉(zhuǎn)子到達油面后,空氣被壓縮,壓縮后的空氣壓力高于外界大氣壓之后從排氣口排出。
特征：排氣能力由壓縮比決定,可達0.1Pa程度。操作簡單。可以從大氣壓狀態(tài)下啟動。油要蒸發(fā)。為了避免油或其它液體進入真空腔內(nèi),不用油或其它液體的干式真空泵正在成為主要的旋轉(zhuǎn)式機械泵。
2、分子泵
構(gòu)造：電機驅(qū)動的高速旋轉(zhuǎn)葉片,泵壁上固定的固定葉片。
原理：每分鐘旋轉(zhuǎn)數(shù)萬次的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個旋轉(zhuǎn)葉片上,最終被送到排氣口。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類而變。
特征：不用油,工作環(huán)境清潔,可到達10-10Pa的真空度。排氣速度不受氣體種類影響。構(gòu)造復雜,價格昂貴,高速旋轉(zhuǎn),要注意安裝要求。有振動。需要和其它初段排氣泵組合。
3、離子泵
構(gòu)造：強磁鐵,蜂窩狀陽極,鈦(Ti)陰極。
原理：通過濺射現(xiàn)象,使Ti離子化,Ti離子化學反應活性高。和氣體分子反應之后生成化合物。一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的Ti被濺射后,一部分離子進入陰極內(nèi)部。
特征：能達到超高真空(10-10Pa)。需要和其它初段排氣泵組合。有一定壽命。
4、Ti升華泵
構(gòu)造：加熱電阻絲、Ti材料(線或球)。
原理：通過加熱電阻絲,使Ti升華。因為Ti化學反應活性高、立刻和周圍的氣體分子反應而生成穩(wěn)定的化合物。反應生成的化合物吸附在真空腔內(nèi)壁上、從而達到降低氣壓的效果。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內(nèi)壁上、則產(chǎn)生巨大的排氣速度。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話、對氮氣而言、可達到24000升/s的排氣速度。在壓力較高時(>10-3Pa)、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用。
特征：排氣速度大。沒有運動部分,沒有振動。需要和其它初段排氣泵組合。有一定壽命。
5、低溫泵
構(gòu)造：冷凍機、液態(tài)He。
原理：利用氣體在超低溫表面凝結(jié)而達到排氣效果。
特征：能達到超高真空(10-11Pa)。排氣速度快。安裝方向不受限制。
