發布日期：2022-05-30 點擊率：39
通過低溫介質將抽氣面溫度降低到20K以下，抽氣面就可以冷凝沸點溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。
這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。
是利用低溫介質降低表面溫度后將氣體冷凝、吸附或是冷凝+吸附；
將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態的裝置。
作為完整的抽氣系統，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機。
現在得到廣泛應用的都是制冷機式低溫泵，其核心是低溫制冷機。
工作基本流程為：
氦氣首先被壓縮到高溫高壓狀態；再通過熱交換器被冷卻為常溫氦氣；
經純化后的高純氦氣*后經汽缸完成絕熱膨脹，變成低溫氦氣。
如此不斷循環，氦氣被不斷降溫，成為制冷介質—低溫氦氣。
選擇低溫泵的優勢有：
①潔凈，純無油，抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環境；
②與口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；
③對被抽氣體無選擇，雜質顆粒而不影響系統工作；
④可以任意角度安裝，沒有運動部件，不需要前級泵，運行和維護成本低；
⑤暴露大氣對系統影響小，壓縮機斷水后可以自保護，所以可以實現無人值守。
真空系統的設計
真空爐選用低溫泵系統，*大的問題就是解決熱負載。
真空爐中的熱負載主要來自于三方面：
①來自爐體側的熱輻射；
②粘滯流狀態下，氣體分子攜帶走熱量；
③來自泵口管道的熱傳導和輻射熱量。
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