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碳化硅

SiC碳化硅功率器件介紹

發布日期:2022-10-09 點擊率:77



什么是碳化硅SiC

近年來,使用“功率元器件”或“功率半導體”等說法,以大功率低損耗為目的二極管和晶體管等分立(分立半導體)元器件備受矚目。這是因為,為了應對全球共通的 “節能化”和“小型化”課題,需要高效率高性能的功率元器件。
然而,最近經常聽到的“功率元器件”,具體來說是基于什么定義來分類的呢?恐怕是沒有一個明確的分類的,但是,可按以高電壓大功率的AC/DC轉換和功率轉換為目的的二極管和MOSFET,以及作為電源輸出段的功率模塊等來分類等等。


SiC(碳化硅)是一種由硅(Si)和碳(C)構成的化合物半導體材料。表 1-1 列出了各種半導體材料的電氣特征,SiC 的優點不 僅在于其絕緣擊穿場強(Breakdown Field)是 Si 的 10 倍,帶隙(Energy Gap)是 Si 的 3 倍,而且在器件制造時可以在較寬的范 圍內實現必要的 P 型、N 型控制,所以被認為是一種超越 Si 極限的用于制造功率器件的材料。SiC 存在各種多型體(結晶多系), 它們的物性值也各不相同。最適合于制造功率器件的是 4H-SiC,現在 4inch~6inch 的單晶晶圓已經實現了量產。

為什么要發展碳化硅?

第一代元素半導體材料:如硅(Si)和鍺(Ge);

第二代化合物半導體材料:如砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等;

第三代寬禁帶材料:如碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁(ALN)、氧化鎵(Ga2O3)等。

 

第三代半導體材料又稱寬禁帶半導體材料,和傳統硅材料的主要區別在禁帶寬度上。具體來說,禁帶寬度是判斷一種半導體材料擊穿電壓高低的重要標志,禁帶寬度值越大,則這種材料做成器件耐高壓的能力越強。除了更耐高壓,碳化硅基功率器件在開關頻率、散熱能力和損耗 等指標上也遠遠好于硅基器件。此外碳化硅材料能夠把器件體積做的越來越小,能量密度越來越大,這也是全球主要的半導體巨頭都在不斷研發碳化硅器件的重要原因。

彎道超車已有先例:在傳統 IGBT 領域,英飛凌占據了絕對優勢。但由于英飛凌未向上游布局碳化硅襯底生產環節布局,其碳化硅 MOSFET 開發進度明顯落后于科銳、羅姆公司,在碳化硅器件需求大增背景下,科銳彎道超車成了碳化硅功率器件第一,且碳化硅器件有取代IGBT的趨勢,有些專家紀要提出新能源汽車高續航需800V必須用碳化硅,充電效率可翻倍,目前400V還可用IGBT。國內企業也是抓緊了布局碳化硅襯底,上市公司已計劃真金白銀砸了數百億


碳化硅的特性

SiC 的絕緣擊穿場強是 Si 的 10 倍,因此與 Si 器件相比,能夠以更高的摻雜濃度并且膜厚更薄的漂移層制作出 600V~數千 V 的

高壓功率器件。高壓功率器件的電阻成分主要由該漂移層的電阻所組成,因此使用 SiC 材料可以實現單位面積導通電阻非常低的

高壓器件。理論上當耐壓相等時,SiC 在單位面積下的漂移層電阻可以降低到 Si 的 1/300。對于 Si 材料來說,為了改善由于器件

高壓化所帶來的導通電阻增大的問題,主要使用例如 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor:絕緣柵極雙極型晶體管)等少數載

流子器件(雙極型器件),但是卻存在開關損耗較大的問題,其結果是所產生的發熱問題限制了 IGBT 的高頻驅動應用。SiC 材料

能夠以具有快速器件結構特征的多數載流子器件(肖特基勢壘二極管和 MOSFET)實現高壓化,因此可以同時實現“高耐壓”、

“低導通電阻”、“高頻”這三個特性。

另外,SiC 的帶隙較寬、大約是 Si 的 3 倍,因此能夠實現在高溫條件下也可以穩定工作的功率器件(目前由于受到封裝的耐熱

可靠性的制約,只保證到 150℃~175℃,但是隨著封裝技術的發展,將來也可能達到 200℃以上的保證溫度)。







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