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產(chǎn)品介紹

168 大型 HV 擺式隔離閥即使在惡劣的工藝條件下也能提供可靠的隔離性能。它非常適合大流量應(yīng)用中的隔離要求，例如大型涂層或顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)。因此，它提供 DN 400 和 500mm 兩種規(guī)格。168 閥門(mén)提供可選的 3 位氣動(dòng)或標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)，均為雙作用。

憑借其特殊的分體式設(shè)計(jì)，無(wú)需拆卸管道連接或工藝室連接即可進(jìn)行維護(hù)。其纖薄的設(shè)計(jì)允許將 168 直接安裝到制程腔體，從而消除了例如腔室 - 閥門(mén) - 泵連接中通常需要的體積。

憑借其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)以及多種設(shè)計(jì)選項(xiàng)，168 系列易于集成到各種真空工藝中。

168系列已在全球數(shù)百個(gè)批量和在線生產(chǎn)系統(tǒng)中安裝在各種工藝條件下，已在各個(gè)方面證明了其性能。

性能特點(diǎn)

• 大真空量的可靠隔離

• 在惡劣條件下也能提供可靠的性能

• 采用狹縫式機(jī)身設(shè)計(jì)，維護(hù)快捷方便

• 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)

• 運(yùn)營(yíng)成本低

• 可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整

技術(shù)參數(shù)

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用